硅晶片真空烘箱 試驗箱
更新時間：2022-12-28
硅晶片真空烘箱，專為干燥熱敏性、易分解和易氧化物質(zhì)而設計，能夠向內(nèi)部充入惰性氣體，特別是一些成分復雜的物品也能進行快速干燥。
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一、硅晶片真空烘箱箱體規(guī)格
規(guī)格型號 | 內(nèi)箱尺寸（W*H*Dmm） | 外箱尺寸（W*H*Dmm） | 真空泵 | 電源 |
HE-WD-300 | 300*300*300 | 1000*1580*920 | 4升 | AC 220V 50Hz 3.5KW |
HE-WD-400 | 400*400*400 | 1000*1580*920 | 4升 | AC 220V 50Hz 4.5KW |
HE-WD-500 | 500*500*500 | 1000*1580*920 | 4升 | AC 220V 50Hz 5.5KW |
HE-WD-600 | 600*600*600 | 1000*1580*920 | 4升 | AC 380V 50Hz 9KW |
HE-WD-700 | 700*700*700 | 1000*1580*920 | 8升 | AC 380V 50Hz 12KW |
HE-WD-800 | 800*800*800 | 1100*1680*1050 | 8升 | AC 380V 50Hz 15KW |
HE-WD-1000 | 1000*1000*1000 | 1350*1620*1300 | 8升 | AC 380V 50Hz 20KW |
箱體結(jié)構(gòu)：連體式，真空泵置于機臺下部；
隔層：內(nèi)分二層，配網(wǎng)板二塊，可活動抽出；
面板安裝：控制面板安裝于機臺下方（如設備外觀圖）；
開門方式：單由右至左開啟;
可視窗：門上帶可視窗，規(guī)格W250×H300mm；
內(nèi)箱材料為：304#不銹鋼工業(yè)板；內(nèi)箱加強處理，抽真空不變形；
外箱材料為：冷軋鋼板,厚1.2mm,表面烤漆處理；
保溫材質(zhì)為：耐高溫巖棉，保溫層厚100mm，保溫效果好；
安裝帶剎車活動腳輪，可任意推動；
二、硅晶片真空烘箱控溫系統(tǒng)
溫度范圍：常溫+30℃～200℃
控制精度：±0.5℃
顯示精度：0.1℃
箱內(nèi)溫度均勻度：±5℃%(無真空時，空箱測試)
升溫速率：RT→100℃（約30分鐘），200℃（約45分鐘）
三、真空系統(tǒng)
真空度：0～-101KPa
真空保壓泄漏率：約0.8KPa每小時
采用高密封性的硅膠密封條保障整機的密封性；
采用數(shù)顯示式真空表直接顯示內(nèi)箱真空度，讓你即時了解箱體內(nèi)的真空狀態(tài)，真空度達到0－-0.1Mpa (即:100pa真空度)
四、充氮氣裝置
1、調(diào)壓閥：控制氮氣壓力，正常使用下氮氣壓力調(diào)為2.5公斤左右；
2、面板流量計：控制氮氣進入箱內(nèi)的大小，量程為10L/min-60Lmin；
3、氮氣管道進入到箱內(nèi)正后面，調(diào)壓閥處預留8mm快插氣管接口；
4、注：氮氣由用戶自備。
真空干燥箱先抽真空再升溫加熱的原因
1)工件放入真空箱里抽真空是為了抽去工件材質(zhì)中可以抽去的氣體成分。如果先加熱工件，氣體遇熱就會膨脹。由于真空箱的密封性非常好，膨脹氣體所產(chǎn)生的巨大壓力有可能使觀察窗鋼化玻璃爆裂。這是一個潛在的危險。按先抽真空再升溫加熱的程序操作，就可以避免這種危險。
2)如果按先升溫加熱再抽真空的程序操作，加熱的空氣被真空泵抽出去的時候，熱量必然會被帶到真空泵上去，從而導致真空泵溫升過高，有可能使真空泵效率下降。
3)加熱后的氣體被導向真空壓力表，真空壓力表就會產(chǎn)生溫升。如果溫升超過了真空壓力表規(guī)定的使用溫度范圍，就可能使真空壓力表產(chǎn)生示值誤差。
正確的使用方法應該先抽真空再升溫加熱。待達到了額定溫度后如發(fā)現(xiàn)真空度有所下降時再適當加抽一下。這樣做對于延長設備的使用壽命是有利的。
